是否接受进口

接受进口

品牌

Bruker布鲁克、KLA科磊、AEP

型号

Dektak XT、Alpha-Step® D-600、Map-LS

技术规格及参数

1：传感器：高精度激光反馈传感器
2：垂直重复性  < =5 Å
3：样品台尺寸：200 mm晶圆电动样品定位台（运动范围不小于150 x 178 mm）
4：扫描长度（单次）不拼接：不小于55mm
5辅助光学系统 side view 斜视-带斜视图像纠正
6：CCD: 不小于5M光学彩色
7：CCD，4倍数码变焦
8：加力范围不窄于0.03–15 mg
9：垂直测试范围：不低于1200 µm
10：垂直分辨率：<=0.38A
11：双向扫描：yes
12：带落地式气浮防震台（带静音空压机，满足测试精度.）
13：原装控制器、显示器、原装软件.
14：所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件

质保期

2年

售后要求

1. 运行维护：设备需提供 2年免费上门保修服务，保修期内出现故障，供应商应在2小时内响应，72小时内完成维修；保修期内，对所提供设备质量实行三包，免费提供上门维修、维护服务；保修期内，在无故障的情况下，每年定期上门对机器进行检测，运行调节，内部清洁等。 2. 质保期外免人工上门服务费.